半導體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案等

這個表格是我們半導體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好，這個主要還是決定我們的設(shè)計，或者對生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。